動きの自由度が高いミニチュアポジショナー
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Physik Instrumente（PI）のパラレルキネマティックヘキサポッドシステムは、1軸で810 µm未満の精度で正確な位置決めを提供します。 新しいミニチュアヘキサポッドM-10は、最小限の設置スペースしか必要としません。 直径わずか118 cm、高さ40 mmで、XY平面で最大13 mm、Z方向で最大40 mmの移動範囲を提供します。 使用される高精度ブラシレス特殊DCモーターと高分解能エンコーダーのおかげで、片脚の位置分解能はわずかXNUMX nmです。
システムは5 kgまでの荷重を確実に位置決めし、10 mm / sまでの速度を達成します。 製造業者が説明するように、パラレルキネマティックシステムは、積み重ねられた多軸ポジショナを超えるいくつかの利点を有する。 そのため、6つのアクチュエータすべてが共通のプラットフォーム上で動作するため、移動質量は小さくなります。 さらに、ガイドエラーや個々の軸の傾きの追加はありません。 ソフトウェアコマンドによって自由に定義可能なピボットポイントは、動きから独立しています。
