Jenoptikは、レーザー材料処理用の「Jenar」F-Thetaレンズシリーズを拡張して、UV範囲のレンズを追加しました。焦点長355 mm、スキャンフィールド56mmの22nmアプリケーション用のF-Thetaフルクォーツレンズにより、多くのことが可能になります。 4,5 µmまでの小さなスポット径。 マイクロマテリアル処理で使用するために特別に設計されており、超短パルスのアプリケーションに適しています。
F-θレンズファミリーは、レーザー光を用いたミクロおよびマクロ材料加工のためのほとんどすべての標準プロセスの要件を満たしています。 レンズは、高い損傷閾値で非常に堅牢です。
1mm²のイメージセンサーが世界最小のデジカメを可能にします
無接着剤レンズ技術と認定されたクリーンルームでのレンズの組み立ては、すべてのレンズが汚れや長期安定性なしに使用されることを保証するのに役立ちます。 すべてのレンズをチェックして測定します。 製品またはプロセスの要件によりレンズの交換が必要な用途では、レーザーシステムを大幅に調整することなくF-θレンズの交換が可能です。