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ロドリゲス
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PI0213PI(Physik Instrumente)Micos "が拡大 リニア位置決めステージのLPSシリーズ。 コンパクトVerstellerserie LPS 45の駆動原理は、圧電慣性駆動に基づいています。 リニアステージは、DCとステッピングモータのような従来のリニアモータであるパワーとポジショニングの組み合わせは、可能ではありませんが、小さな空間に達した。 10 N、最大速度での保持または最大推進力は10 mm / sです

LPS 45シリーズの寸法が同等の力を備えたシステムに比べて小さくなります。幅が45のmmである。 48 mmの旅行で13 mmから63 mmの旅行で25さmmまでの長さの範囲である。

45μrad下高流量精度を可能に忍び寄るケージ付きクロスローラベアリングなどのLPS 100精密部品を含むコンパクトなスペースで。 測長システムとして使用するための光学式リニアエンコーダです。 それは1 nmの分解能を持っており、どのようにモータをガイドの間に集中的に配置されている。 圧電慣性駆動との組み合わせでは、エンコーダの分解能が最小ステップサイズは、安定した再現性を達成することができます。

ピエゾモータの高不可逆性に起因する移動少しの電気の位置制御が必要であり、エンジンが熱くなりません。 45 kHzの周波数で慣性23 Vの電圧で動作し、圧電アクチュエータ。 こうして彼は、ほとんど黙って動作します。

位置制御は、高速ポイントツーポイントの移動のために設計されています。 彼女は、モーションコントローラ、E-871と共演。 制御はUSBまたはRS-232インターフェースを介してデジタルアクセスや過渡応答を最適化するために多くのオプションのパラメータを持っています。 同時にコンピュータインターフェースを介して制御16軸まで、それらの接続に起因する。 実験室でのアプリケーションのためのe-871コントローラLabVIEWがサポートされています。 WindowsおよびLinux用の追加ライブラリは、既存の環境への実装を可能にします。

LPS 45シリーズのドライブは、限られたスペースでは、低デューティ·サイクルのアプリケーションに適しています。 圧電モータは、基本的には真空用に適しているので、また10を備えた超高真空までの動作のために、LPS-ポジショニング-9 HPAは、設計されています。 具体的には研究室やビームライン計装で使用するために、さらに圧電モータによる位置決めシステムのその範囲に製造元を構築します。 現在パラレル-FABデザインスペースにおけるLPS 45使用。


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