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Gimatic40316カバーストーリー

Motekホール4、4228スタンド。 Kホール10は、スタンドE55

それだけでなく、優しさであります メカトロニクスグリッパーGimatic 空気圧を上回る利点を実証します。 その使用は、全体的なコストを削減します。彼らが使用する方がはるかに簡単であり、メンテナンスフリーとクリーンルームの互換性。 すべての利点は、なぜ彼らはWafermarkier-の開発者とInnolasの熱意の仕分けシステムを引き起こします。 しかし、これらはスイベルユニットとグリッパは、レーザーの専門家のための他のメカトロニクスソリューションと比較して勝った理由だけの理由ではありません。


「そのように圧縮されたものを製造している他のメーカーを見つけたわけではありません」とSven Wollstadt氏は言います。 Innolas Semiconductor GmbH、Krailling。 彼は、Gimaticの電動部品用の新しいウェーハ選別機を開発することにしました。 初めて、彼は空気圧ソリューションを使用していませんでした、そしてこれは将来の新しい開発で当てはまるはずです。

半導体用ウェーハマーキングおよびソーティングシステム

Gimatic50316ドイツに居住する親 イーノラス 1995が設立されました。 4つの姉妹会社と、それは産業および科学的応用のための革新的なレーザー技術を世界中の顧客に提供します。 Innolas Semiconductorは、70と30のパーセント比で、半導体業界向けの高品質ウェーハマーキングおよびウェーハソーティングソリューションを専門としています。 20の長年にわたり、カスタマイズされたソリューションは25従業員の繁栄する中核事業でした。

ポートフォリオ内のすべてのマシンにとって、サブコンポーネントの選択はそれらの品質とスペシャリストのノウハウに焦点を当てています。 最終顧客の最高純度要件を満たすために、すべてのシステムが製造され、自社のISO6クリーンルーム(ISO 14644-1)で稼働しています。

セールスのThomasRölz氏は、「当社の顧客はすでに生産現場の機械をクリーンルーム対応で供給されています」と語っています。 参考文献の中には、ウェーハおよびチップ業界における世界的に有名な多数の世界的企業があります。 20から30までの特別なマシンはヨーロッパのマーケットリーダーの市場を離れ、現在ビジネスの50パーセントが到着するアジアとアメリカのマーケットリーダーを志望しています。

「お客様のおかげで、2001以降、ウェーハソーティングシステムを製造してくださったお客様に感謝することができました」とSven Wollstadt氏は説明します。 もともと私達は顧客が私達に近づくまでプログラムにレーザーマーカーを持っていました。 彼は、私たちの技術を使って選別機も作ることができると考えました。 そんな ウェーハソーティングまたはウェーハ移載機は "IL C3800"です。"これはメカトロニックグリッパーやスイベルユニットを初めて装備したものです。

ウェーハを丁寧に除去

gimatic60316モジュール式ウェハ処理システムでは、搬送システムは各ステーション間に配置され、ウェハをあるステーションから別のステーションに搬送する。 ここでは絶対的なクリーンルーム条件が優勢であるので、この取り扱いは完全に自動化されなければならない。 汚染を防ぐために、ロボットでウェーハの前面または背面に触れないように注意する必要があります。

ウェハ搬送システムタイプIL C3800のタスクは、クリーンルーム対応のプラスチックボックスFOUP(フロントオープンユニットポット)を自動で開き、収納されているウェハを取り出し、それらを裏返し、それらを位置合わせして次の処理ユニットに転送することです。 三軸ロボットが充電ステーションからウェーハを取り出し、それらをいわゆるフリッパー(ターニングステーション)に非常に迅速かつ正確に配置する。 2つのGimaticグリッパーがウェーハを拾い上げます。 回転ユニットは、この間違った側面に入ってくるウェハを精密タイミングベルト駆動装置と完全に同期して適用する。 最後に、グリッパはウェハをいわゆるアライナ上に置き、そこでそれは前方への搬送のために整列される。 ここでは、イメージングカメラがウェハのバーコードを読み取ります。 転送機はバーコードに含まれている情報とウェーハの正確な位置をイーサネットを介して次の処理ステーションに転送します。その後、処理ステーションは正しい位置で正しい処理を自動的に実行します。

クリーンルーム内での1時間あたりの200ウェーハ

ThomasRölz氏は、「この自動化により、複雑な搬送プロセスを省き、コーティングのレーザーアブレーションなどの中心的な作業に集中できるようになりました」とThomasRölz氏は説明します。 しかし、クリーンルームクラス1用に完全自動化されたプロセスに毎時200ウェーハを追加するという事実は投資を正当化します。

このターニングステーションでは、2つのGimaticMPPMのグリッパー 1606と一つ 回転ユニットタイプMRE 初めて使用された25180。 「私たちは空気圧から離れようと思っていました。それは私たちの前身の機械ではあまりにも大きく研磨され、大きすぎて実装するには複雑すぎました。 、 特に、マイクロメータ範囲のレーザーマーキングは完全に粒子を含まないものでなければならないため、空気圧による摩耗はここでは許容できません。

「そのようなメカトロニクス部品を製造するインターネットで私が研究したのはそのためです」と彼は思い出します。 Gimaticはすでに回転と非常にコンパクトなデザインの両方 - 私たちの製品に両方の重要な機能を実装していました。 Gimatic Vertrieb GmbHのテクニカルアドバイザーであり、レーザースペシャリストの担当者であるHarry Kernは、次のように述べています。 「ちなみに、我々は最初に無電解把持力安全装置を提供しました。」システム全体は特許を取得しています。

「これは非常に重要な点です。機械が故障しても、グリッパーは最後の状態のままであることをスヴェン・ウォルシュタットは言います。」特に、これは旋回装置の未定義状態において重要です。 コンポーネントのエネルギー効率の高い操作によって、一次エネルギー消費を20パーセントから2020まで削減するというEUエネルギー効率化指令の個々のステップに準拠することも可能になるという事実は、言うまでもないことです。

「このピンボールマシンと自給自足の並行作業方法で私たちは先駆者です」と、開発責任者が誇らしげに報告しています。 従来のシステムでは、ロボットはウェーハを連続して搬送し使用する。

ウェハの感度を考慮する

Gimatic70316「このアプリケーションでの最大の課題は、ウェーハの感度でした」とHarry Kernは思い出します。 ウェハは、わずか5ニュートンの力で外径から最初の1ミリメートルで掴むことができるだけである。 さもなければ、握るプロセスはその構造を破壊するでしょう。 空気圧グリッパーはもうそれをすることができませんでした。

「私たちの電動グリッパーで、必要に応じて力が築きます。 ギアボックスはあご部を抵抗、すなわちウェーハへの衝撃にさらします。 ジョーは動くことができません、しかしスピンドルは働き続けて、そしてそれ故握力を生成します。 グリッパーのコントロールカードがこれを記録し、事前設定された力でシャットダウンします」とHarry Kern氏はグリッププロセスについて説明します。 空気圧システムでは、グリッパが最大の把持力で同時にワークピースに当たり、少なくとも1枚のウェーハを破壊します。 Innolasはこのアプリケーションのためにカーボンジョーも設計しました。そして、それはさらにバネ機能を引き受けて、そしてそれ故握力を減らします。

メカトロニクスを再考することは価値があります

Innolas80316Sven Wollstadt氏は、次のようにまとめています。 したがって、メンテナンスコストと開発コストを大幅に削減できます。 製造時間だけでも3分の1に短縮されました。 そして、グリッパーと回転ユニットの簡単な制御でも、コントローラー内のデジタル信号を直接操作することができます。 それで、新しい開発でメカトロニクスグリッパーだけが使われるべきであることは驚くべきことではありません。

その一方で、顧客はより低い総コストまたは総所有コストを期待することができます。 なぜならGimaticは10まで何百万サイクルものメンテナンスを保証していないからです。 「我々は3ピンコントロール24 Vでグリッパーを提供する唯一のベンダーであり、追加のモジュールを必要としません」とHarry Kernは付け加えます。 そして非常に簡単な制御の選択はプログラミングおよびオペレータの訓練を節約する。 「モジュールの価格/性能比は非常に素晴らしく、私たちはそれらを使うのを本当に楽しんでいました」とSven Wollstadtは言います。 さらに評価を付け加えます。「私たちには家の中に多くのサプライヤーがいますが、Gimaticは非常に献身的で、私たちには非常に建設的でした」

スピードとピンの味

一般に、設計の傾向は、空気圧式製品よりもメカトロニクス製品を優先することです。 「特に業界の4.0開発と共同ロボティクスの顧客の出現の過程で、特に私たちの製品を求めている」とHarry Kernは言った。 それで彼はGimaticからの新しい展開について少し予見を与えます:

私たちは今、毎分120グリップサイクルに達するプログラムのスピードバージョンを持っています。 さらに、ピーク電流に達して駆動モーターをオフにした瞬間に信号を出力するグリッパーのバリエーションがあります。 この信号は、それを「把持されたコンポーネント」として定義するために使用することができます。

上の写真:ウェーハ搬送システムの旋盤ステーションまたはフリッパーIL C3800

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