高精度の位置・角度などの測定に 距離測定 適している 干渉計 波の重ね合わせに基づいて、生産測定技術などの極度の精度の要件を満たすため、優れています。 研究 あるいは宇宙旅行。この記事ではいくつか紹介します 新商品 さまざまなメーカーの製品を紹介し、基本的な知識を提供します。

Sios レーザー振動計

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干渉計 2024 – 最も重要なことの概要

最新の干渉計は高度な技術を使用しています レーザー技術 安定したレーザー、可変レーザー、またはフェムト秒レーザーを使用します。データ分析のアルゴリズムも常に開発されています。フーリエ変換を使用して干渉パターンを周波数領域に変換すると、データの分析と解釈が容易になります。機械学習と KI データ内のパターンを認識し、材料の挙動や特性を予測するために使用されます。

研究 干渉計は分子距離と原子距離を測定し、材料科学、生物学、化学に重要な洞察を提供します。天文学では、星や銀河の距離と動きを高精度で測定するために干渉計が使用されます。ナノテクノロジーでは、精密測定装置はナノスケールでの変形や寸法を測定します。これはナノ材料やデバイスの開発にとって重要です。

したがって、干渉計は距離、材料の変形、光学特性を極めて正確に測定できるため、測定技術の新たな標準を確立できます。

高精度ウェーハ厚さ測定用干渉計

19.01.2024 年 XNUMX 月 XNUMX 日 |半導体ウェーハの製造における重要なプロセスステップは、均一な厚さにするシリコンブランクのラッピングです。連続的な厚み制御用 マイクロイプシロン 白色光干渉計IMS5420-THを開発。これは、単結晶シリコンウェーハの工業的な厚さ測定に新たな展望を開きます。

ブロードバンドのおかげで スーパールミネッセンスダイオード (SLED)、IMS5420-TH は、アンドープ、ドープ、および高ドープの SI ウェーハに使用できます。厚み測定範囲は0,05~1,05mmです。測定可能な空隙の厚さは4mmまで均一です。

干渉計はそれぞれコンパクトな干渉計で構成されています。 センサー 1つ コントローラー、堅牢な工業用グレードで提供されます。 住宅 収容されている。アクティブ温度制御がコントローラーに統合されており、測定の高い安定性が保証されます。

干渉計は厚さまたは厚さとして利用できます。 マルチピーク厚さ計。マルチピーク厚さ測定システムは、ウェハ厚さ、エアギャップ、フォイル、コーティングなど、50 µm を超える最大 5420 つの層の厚さを測定します。困難な環境条件下での厚さ測定のために、IMS67 コントローラーには IPXNUMX とステンレス鋼ハウジングが装備されており、適切なライトガイドとセンサーが利用可能です。

長さと角度を同時に測定する干渉計

Sios レーザー振動計の動作原理01.04.2020年5000月XNUMX日 |産業や研究における高精度の経路と角度の同時測定に関しては、迅速なセットアップと簡単な調整が特に重要です。 XNUMX ビーム レーザー干渉計 SP XNUMX TR (上の写真) シオス は、1 つのデバイスに 3 つの干渉計を組み合わせた高精度測長デバイスです。 3 つの測定チャンネルすべてで、同じ非常に安定したレーザー周波数が使用されます。 3 つの長さの値がナノメートルの精度で同時に記録されます。対応する角度は、2 つの長さの値の差と校正されたビーム距離から高精度で決定できます。

したがって、モジュール式5ビーム干渉計は、さまざまな測定タスクに適合させることができます。 距離測定範囲はXNUMXつでXNUMXm以上です サブナノメートルの解像度. 角度測定 リフレクター使用時は±12,5°まで可能です。センサーヘッドの光ファイバー結合とオプションで統合されたビーム方向検出により、取り扱いと調整が容易になります。

干渉計の新しい設計はコンパクトで堅牢です。このため、産業や研究における高精度測定や OEM デバイスとして適しています。広い測定範囲または校正タスクの場合、メーカーはワイヤレス温度センサーまたは LCS 気候測定ステーションの使用を推奨します。

かつてない精度の干渉計

ノータス オプトロニック干渉計26.03.2020年XNUMX月XNUMX日 |干渉計が第一選択です 光学測定法高精度で表面を測定することになると。 ノータスオプトロニック Difrotec 社の新しい D7 干渉計は、同社自身の情報によれば、前例のない精度を備えています。測定された形状と実際の形状の差はラムダ/1000 未満 (< 0,6 nm) です。 

干渉計D7を使用して、現場での革新的なマイルストーンを表すシステムを提示します 干渉計 測定 を表します。そのため、干渉計の分野における標準を確立する精度、コンパクトで使いやすい干渉計を提供します。

いわゆる干渉計 PSPDIシステム (位相シフト共通経路点回折干渉計): 通常のフィゾー干渉計は光学基準を必要としますが、D7 は完全な基準自体、つまり金属薄膜のサブ波長開口によって生成される回折波面を生成します。この技術はヨーロッパとアメリカで特許を取得しています。

D7は、複雑な形状と大きな非球面偏差を持つ高精度の光学系をテストするために使用されます。 の 微分測定ソフトウェア システムに付属しています。 多様な機能により、ソフトウェアは測定結果の完璧な分析を提供します。

よくある質問

干渉計は何をするのですか?

干渉計とは、 精密測定器、通常は光波である波の干渉パターンを使用して、非常に短い距離、長さの変化、または屈折率の変化を測定します。

どのような干渉計がありますか?

さまざまな測定タスクに応じて、特定の特性を備えたさまざまな干渉計があります。

  1. マイケルソン- 干渉計は 2 つの光ビーム間の位相シフトを測定します。マイケルソン干渉計は、光学分光法と天文学で一般的に使用されます。
  2. マッハツェンダー-干渉計を使用すると、屈折率の変化を測定でき、通信や環境測定によく使用されます。
  3. ファブリ・ペロー-干渉計は、2 つの平行なミラー間の多重干渉を使用し、分光法で波長を測定するために使用されます。
  4. フィゾー-干渉計は距離と表面粗さを測定し、材料科学や光学部品のテストでよく使用されます。
  5. サニャック-干渉計は、回転の測定や光ファイバーで使用されます。
  6. トワイマングリーン-干渉計はマイケルソン干渉計のバリエーションであり、特に光学システムのテストに使用されます。

レーザー干渉計はどのように動作するのでしょうか?

アイン レーザー干渉計 ビームスプリッターとして機能します。レーザービームを 2 つの部分に分割し、異なる経路を進み、再び合流します。これらの光線は互いに重なり合い、光の波の性質から生じる干渉パターンを作成します。パスの 1 つが変更された場合、たとえば、 B. 屈折率の移動または変化により、干渉パターンがシフトします。このパターンの変化を分析することにより、これらのデバイスは、測定変数の距離、動き、または光学特性を正確に測定できます。

干渉計はどのように機能するのでしょうか?

干渉計は 波、通常は光波の干渉原理に基づいた測定技術。干渉分光法では、波は 2 つ以上の部分に分割され、異なる経路を通ってから再び結合されます。これらの波が集まると、重なり合って、明暗の縞やリングの干渉パターンが形成されます。このパターンは、長さの変化、動き、または屈折率の違いによって引き起こされる波間の経路の違いに応じて変化します。これらのパターンの変化を分析することにより、距離、長さの変化、表面トポグラフィー、および光学特性を非常に正確に測定できます。

どこで干渉が起きているのでしょうか?

干渉は、光、音、水の波などの 2 つ以上の波が出会い、重なり合うときに発生します。これは、次のようなさまざまな環境や状況で発生します。

  • 光学: 干渉計での光波の重ね合わせ、薄層 (水上の油膜など)、シャボン玉、格子やスリットでの光の回折。
  • 音響: エコーのある部屋やスピーカーの近くで観察される音波が重畳されるとき。
  • ネイチャー: 湖や海洋などの水域で水の波が重なる場合。

干渉は、重ね合わされた波の山と谷が互いに強め合う (強め合う干渉) か、弱め合う (弱め合う干渉) ように集まるときに発生します。結果として得られる干渉パターンは、波の特性と波が通過する媒体に関する重要な情報を提供します。

出典: この記事は、Micro-Epsilon、Nortus-Optronic、Sios の企業からの情報に基づいています。

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著者情報
アンジェラストラック

アンジェラ・ストラックは、開発スカウトの編集長であり、フリージャーナリストであり、リートにある Presse Service Büro GbR のマネージングディレクターでもあります。