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小型化、マイクロシステム技術、ナノテクノロジー

physikinstrumente0217光データ伝送と製造および試験成分には、可能な限り高い精度で最適な接続のために繊維または繊維アレイを調整する必要があります。 ウェル50のnm以下の位置公差は一般的であり、マルチチャンネル入力と出力は、複数の軸で同時に配向を必要とします。 Physik楽器(PI)は、二つの高精度を提供しています Faserpositioniersysteme.

どちらのシステムも、3つの積み重ねられた直線軸(F- 712.MA)または回転運動が必要な場合はそれぞれ1つのナノポジショナーと組み合わされた平行キネマティックヘキサポッド(F-712.HA)のいずれかで構成される非常に剛性の高い構造に基づいています。 パラレルキネマティクスとモーター駆動の積み重ねられた軸により、粗位置決め時に数ミリの範囲でより長い移動範囲が可能になると同時に、「ナノキューブ」ポジショナーは速いスキャン動作とドリフト効果の動的補正を保証します。 ソリッドステートガイドとオールセラミック絶縁ピエゾアクチュエータが長寿命を保証します。 すべてのドライブの位置センサーは、高価なシリコンウェハとの衝突を防ぎます。 どちらのシステムも片側または両側の位置決め作業に使用できます。

ファイバまたは光学部品を位置決めするための積層システムは、25 mmまでの移動範囲、2μmの最小ステップサイズ、および20 mm / sの最大速度で、3軸すべてで粗い位置決めで機能します。 六脚の場合、X、Y、Zの移動範囲は、±6,5、±16、および±8,5 mmです。3つの回転軸の場合は、±14,5、±10、および±10度です。 最小ステップサイズは0,1μmです。 システムは最高速度10 mm / sで動作し、自由に定義可能なピボットポイント(ピボットポイント)のおかげで、さまざまな角度で敏感に位置決めすることができます。 両システムで精密位置決めを行うNanocubeは、3軸すべてで100μmの移動範囲と2,5 nmの最小ステップサイズを使用します100μmX 100μmの表面スキャンの位置決め時間は、X NUMX dBのピーク強度からの最大偏差です。 0,02の下で。
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