優しさだけじゃない、メカトロニクス グラブ の Gimatic 上の利点として 空気圧 vorweisen.公演。 Ihr Einsatz reduziert zudem die Gesamtkosten: Sie sind viel einfacher zu bedienen, wartungsfrei und reinraumtauglich.それらを使用すると、全体的なコストも削減されます。使用がはるかに簡単で、メンテナンスフリーで、清潔な部屋に適しています。 Alles Vorteile, warum sie bei den Entwicklern der彼らが開発者の中にいる理由のすべての利点 ウエハー からのマーキングおよびソートシステム イノラス Begeisterung hervorrufen.熱意を喚起します。 Lesen Sie, warum sich Schwenkeinheit und Greifer außerdem im Vergleich mit anderen mechatronischen Lösungen beim Laserspezialisten durchgesetzt haben.スイベルユニットとグリッパーがレーザースペシャリストの他のメカトロニックソリューションよりも優勢である理由をお読みください。
「これほどコンパクトな方法でこれを構築しているメーカーは他にありません」と述べています。 スヴェン・ウォルシュタット、KraillingのInnolas SemiconductorGmbHの開発責任者。 Er hat sich bei der Entwicklung einer neuen Wafer Sortiermaschine für die elektrisch angetriebenen Komponenten von Gimatic entschieden.新しいウェーハ選別機を開発するとき、彼はGimaticの電動コンポーネントを選びました。 Damit hat er erstmals keine pneumatische Lösung eingesetzt und das soll bei künftigen Neuentwicklungen auch so bleiben.彼が空気圧ソリューションを使用しなかったのはこれが初めてであり、それは将来の新しい開発のためにそのようにとどまるはずです。
イノラスセミコンダクターは高品質の製造に焦点を当ててきました ソリューションのマーキングと並べ替え 70から30パーセントの比率で半導体産業のためのウェーハの。 Seit über 20 Jahren sind kundenspezifische Lösungen das gut florierende Kerngeschäft der 25 Mitarbeiter.顧客固有のソリューションは、XNUMX年以上にわたってXNUMX人の従業員の繁栄するコアビジネスです。
「私たちの顧客は、クリーンルームの準備ができた状態で生産室に機械を届けます」と説明します。 トーマス・レルツ vom Vertrieb ein Alleinstellungsmerkmal seines Unternehmens.販売から彼の会社のユニークなセールスポイント。 Unter den Referenzen befinden sich zahlreiche weltbekannte Globalplayer der Wafer- und Chipindustrie.参照には、ウェーハおよびチップ業界で世界的に有名な多数のグローバルプレーヤーが含まれています。 Rund 20 bis 30 Sondermaschinen verlassen im Jahr das Haus des Marktführers in Europa und angehenden Marktführer in Asien bzw. USA, wo aktuell 50 Prozent des Geschäfts ankommen.約XNUMX〜XNUMX台の特殊な機械が、ヨーロッパのマーケットリーダーと、現在ビジネスのXNUMX%が到着しているアジアと米国の新進のマーケットリーダーの家を離れます。
「2001年からウェーハ選別システムも製造しているという事実に感謝する顧客がいます」とSvenWollstadt氏は説明します。 Ursprünglich hatten wir nur die Lasermarkierer im Programm, bis ein Kunde auf uns zu kam.当初、顧客が私たちに近づくまで、私たちの範囲にはレーザーマーカーしかありませんでした。 Er war der Meinung, dass wir mit unserer Technik auch die Sortierer herstellen könnten.彼は、私たちの技術で選別機も製造できるとの意見でした。 Solch eine Sortier- bzw. Transfermaschine für Silizium und andere Wafer ist die „IL C3800“, die nun erstmals mit mechatronischen Greifern bzw. Schwenkeinheiten ausgestattet ist.このようなシリコンやその他のウェーハの選別または移送機は「ILCXNUMX」であり、メカトロニックグリッパーまたはスイベルユニットが初めて装備されています。
In einem modularen Wafer Bearbeitungssystem befinden sich zwischen den einzelnen Stationen Transportsysteme, die die empfindlichen Wafer Scheiben von einer zur anderen Station transportieren.モジュラーウェーハ処理システムでは、個々のステーション間に、敏感なウェーハウェーハをあるステーションから別のステーションに輸送する輸送システムがあります。 Da hier absolute Reinraumbedingungen herrschen, muss dieses Handling vollautomatisiert erfolgen.ここでは絶対的なクリーンルームの状態が優先されるため、この処理は完全に自動化する必要があります。 Es ist außerdem darauf zu achten, weder die Vorder- noch die Rückseite des Wafers mit demまた、ウェーハの前面と背面のどちらにもがないことを確認することも重要です。 ロボットプロセスの汚染を防ぐため。
IL C3800タイプのウエハ搬送システムは、クリーンルーム対応のプラスチックボックスFOUP(フロントオープンユニットポット)を自動で開き、中のウエハを取り出し、裏返し、整列させて後段の処理装置に受け渡す装置です。 XNUMX軸ロボット ロードステーションからウェーハを取り出し、いわゆるチップ上に非常に迅速かつ正確にチップを配置します。 フリッパー (ターニングステーション)。
2 ギマティックグリッパー nehmen den Wafer entgegen.ウェーハを受け入れます。 Die Schwenkeinheit wendet diesen mit der falschen Seite ankommenden Wafer absolut synchron mithilfe eines Präzisionszahnriemen-Antriebs.スイベルユニットは、精密な歯付きベルトドライブの助けを借りて、このウェーハを反対側に完全に同期して回転させます。 Schließlich legen die Greifer den Silizium Wafer auf den sogenannten Aligner, wo er für den Weitertransport ausgerichtet wird.最後に、グリッパーはシリコンウェーハをいわゆるアライナに配置し、さらに輸送するために位置合わせします。
「この自動化により、ユーザーは時間のかかる輸送プロセスを節約し、層のレーザーアブレーションなどのコアタスクに専念できます」とThomasRölz氏は述べ、機械に投資する必要性を説明します。その複雑さは綿密な調査でのみ明らかになります。 Dass sie aber für dieしかし、彼らは クリーンルームクラス1 プロセスに200時間あたり約XNUMX枚のウェーハを完全に自動的に追加できるため、投資を正当化できます。
"私たちは欲しかった 空気圧から離れて、 weil sie in unseren Vorgängermaschinen zu viel Abrieb erzeugte, zu groß baute, zu aufwendig in der Umsetzung war und die Wafer nicht sanft genug handhaben konnte“, beschreibt der Entwicklungsleiter die Gründe für die Umstellung von Pneumatik auf Mechatronik.以前のマシンで発生した摩耗が多すぎ、大きすぎ、実装が複雑すぎ、ウェーハを十分に穏やかに処理できなかったためです」と開発責任者は述べ、空気圧からメカトロニクスに切り替えた理由を説明します。 Insbesondere der durch die Pneumatik verursachte Abrieb war hier nicht mehr annehmbar, weil die Laser-Beschriftung im Mikrometerbereich absolut partikelfrei sein muss.特に、マイクロメートル範囲のレーザーマーキングには粒子が完全に含まれていない必要があるため、空気圧による摩耗はここでは許容できなくなりました。
「これは非常に重要なポイントです」とSvenWollstadt氏は言います。「マシンが故障しても、グリッパーは最後の状態のままです。」これは、スイベルユニットの状態が定義されていない場合に特に重要です。 Dass sich durch die energieeffiziente Arbeitsweise der Komponenten auch die einzelnen Schritte derの個々のステップが EUエネルギー効率指令 20年までに一次エネルギー消費を2020%削減するために、言うまでもなく、XNUMX回の電源投入-終了位置-が実行されます。
「このアプリケーションでの最大の課題は、ウェーハの感度でした」とハリー・カーンは回想します。 Der Wafer darf nur an den ersten Millimetern vom Außen Durchmesser mit einer Kraft von nur fünf Newton gegriffen werden.ウェーハは、わずかXNUMXニュートンの力で外径の最初のミリメートルだけをつかむことができます。 Ansonsten würde der Greifprozess sein Gefüge zerstören.そうでなければ、把持プロセスはその構造を破壊するでしょう。 Das könne ein pneumatischer Greifer nicht mehr leisten.空気圧グリッパーはもはやそれを行うことができません。
"ツアー 電気Greifer baut sich die Kraft bedarfsgerecht auf.必要に応じて強度が増します。 Das Getriebe bringt die Greifbacken bis zum Widerstand, sprich dem Auftreffen auf den Wafer.ギアユニットは、グリッパージョーを抵抗状態にします。つまり、ウェーハにぶつかります。 Die Backen können sich nicht weiterbewegen, die Spindel arbeitet aber weiter und erzeugt dadurch die Greifkraft.ジョーはそれ以上動くことができませんが、スピンドルは動き続け、それによってグリップ力を生成します。 Die Regelkarte im Greifer registriert das und schaltet bei einer voreingestellten Kraft ab“, beschreibt Harry Kern den Greifprozess.グリッパーのコントロールカードはこれを登録し、事前設定された力でオフになります」とハリーカーンはグリッププロセスについて説明します。
Beim pneumatischen System trifft der Greifer mit der kompletten Greifkraft auf einmal auf das Werkstück und würde zumindest einen Wafer zerstören.空気圧システムでは、グリッパーは一度に完全なグリップ力でワークピースに当たり、少なくともXNUMXつのウェーハを破壊します。 Innolas hat für diese Anwendung unterstützend auch noch Karbonbacken konstruiert, die zusätzlich eine Federfunktion übernehmen und damit die Greifkraft reduzieren.イノラスはまた、このアプリケーションをサポートするためにカーボンジョーを設計しました。これはスプリング機能も備えているため、グリップ力が低下します。
「新しい開発は非常に複雑でしたが、スイベルユニットの製造がはるかに簡単になりました」とSvenWollstadtは要約しています。 So konnten Unterhaltskosten und Entstehungskosten stark reduziert werden.このようにして、メンテナンスコストと製造コストを大幅に削減できます。
Allein die Produktionszeiten haben sich um ein Drittel verringert.生産時間だけでもXNUMX分のXNUMXに短縮されました。 Und auch die einfache Ansteuerung von Greifer und Schwenkeinheit gestatte es, direkt mit den digitalen Signalen in die Steuerung zu gehen.グリッパーとスイベルユニットの簡単な制御により、デジタル信号を直接制御装置に送信することもできます。 So verwundert es nicht, dass bei Neuentwicklungen nur noch mechatronische Greifer zum Einsatz kommen sollen.したがって、新しい開発にメカトロニックグリッパーのみを使用する必要があるのは当然のことです。
「モジュールの価格/パフォーマンス比はとても素晴らしく、私たちはそれらを使用することを本当に楽しんでいました」とSvenWollstadtは喜んで言います。 Und ergänzt die Beurteilung: „Wir haben viele Lieferanten im Haus, doch Gimatic war sehr engagiert und hat uns super konstruktiv begleitet.“また、評価に次のように付け加えています。「社内には多くのサプライヤーがありますが、Gimaticは非常に献身的で、非常に建設的な方法でサポートしてくれました。」
プログラムにスピードバージョンがあります。 毎分120グリップサイクル erreicht.に達した。 Zudem gibt es eine Greifer-Variante, die im Moment des Erreichens vom Spitzenstrom und Abschalten des Antriebsmotors ein Signal ausgibt.ピーク電流に達して駆動モーターがオフになったときに信号を発するグリッパーのバリエーションもあります。 Dieses Signal kann dazu verwendet werden, dieses als „Bauteil gegriffen“ zu definieren.この信号を使用して、「グリップされたコンポーネント」として定義できます。